用于真空枯燥设备的真空体系经常会呈现上述致使真空泵损坏的景象。由于真空枯燥处理的目的即是为了排除水蒸气。商品在枯燥前的储运及制作过程中以及真空罐本身在敞口时期
，不免带进不少粉尘和颗粒状杂质
。在真空体系处于高压力抽气期间时
，这些杂质有也许被湍流状气流带进真空泵的泵腔内
。

为了避免呈现由于上述因素而致使机械真空泵损坏，除了请求在技术过程中尽量使真空体系清洁外，可在真空泵的进气口设备过滤网
，阻挠从进气口也许进入到泵腔的杂质污物
。在泵的进气口处设置捕污腔，避免如果泵进气口的网损坏或别的因素使污物进入进气口
，也只能落在捕污腔中，而不会进入到真空泵腔内。

为避免泵油中的粉尘、颗粒物质随泵油一同进入泵腔
，对某些技术过程，在泵运转过程中应设有连续泵油过滤设备。相对干净的油则由设于副油箱中上部的过滤器过滤后经进油管进入分油腔后供给端盖和泵腔作业
。

在过滤器上常常设置压力表以显现过滤器是不是阻塞。当压力增加，油不能正常活动时，即为过滤器阻塞
，应替换或清洁过滤芯
。

真空泵通常每周检查一下油量

。换油的时刻距离依作业条件而定
。通常因油润滑不良
、油分化或污染物太多使泵极限压力上升时，就需要替换油了。